NS-3800是一(yi)種可靠的三(san)維(3D)測量高速共(gong)焦(jiao)激光掃描顯(xian)微鏡(CLSM)。通過快(kuai)速光學(xue)掃描模塊和(he)信號處理算法實(shi)現(xian)實(shi)時(shi)共(gong)焦(jiao)顯(xian)微圖像(xiang)。在測量和(he)檢測微觀三(san)維結構，如半(ban)導體晶片，FPD產(chan)品，MEMS設備，玻(bo)璃基板，材料表面等方面提(ti)供(gong)多(duo)樣(yang)化(hua)的解(jie)決(jue)方案。

Features & Benefits（性(xing)能及優勢）：

• 高分辨無損傷(shang)光學3D測量                               自(zi)動傾斜補償

• 實時共焦成像                                                 簡單的數據分析(xi)模(mo)式(shi)

• 多種光學變焦                                                 雙(shuang)Z掃描

  大范圍拼接                                                    半透明基材的特(te)征檢(jian)測

• 實時CCD明場和共聚焦成像                            無樣品(pin)準備

• 自(zi)動聚焦

Application field（應用(yong)領域）：

NS-3500是測量低維材料的有前途的解決(jue)方案。

可測量(liang)微(wei)米和亞微(wei)米結構的高度，寬度，角度，面積(ji)和體(ti)積(ji)，例如

-半導體:IC圖形，凹凸高(gao)度(du)，線圈高(gao)度(du)，缺陷檢測，CMP工藝

- FPD產品:觸(chu)摸屏屏幕檢測，ITO圖案(an)，LCD柱間距高度(du)

- MEMS器件:結構三維輪廓(kuo)，表面粗糙度(du)，MEMS圖形

-玻璃(li)表面:薄膜(mo)太(tai)陽能(neng)電池，太(tai)陽能(neng)電池紋(wen)理，激光圖案

-材(cai)料研究(jiu):模具(ju)表面檢測，粗糙度(du)，裂紋分析

Dimension(尺寸）：

Specification (規格）：

               

注1:精細掃描由壓電執行器（PZT）執行。

注(zhu)2 :以100×/ 0.95物鏡對標準樣品（步(bu)長1μm）進(jin)行100次測量。      

注 3 :以100×/ 0.95物(wu)鏡對標準樣品（5μm間距(ju)）進行100次測量。