NS-3600是(shi)一(yi)種可靠(kao)的三(san)(san)維(3D)激光表(biao)面輪廓(kuo)儀，通(tong)過快速(su)光學(xue)掃描(miao)模(mo)塊(kuai)和信號處理算法實現實時共焦顯微圖像(xiang)。在測(ce)量和檢測(ce)微觀三(san)(san)維結(jie)構(gou)，如(ru)半導體(ti)晶片，FPD產(chan)品，MEMS設(she)備，玻(bo)璃基板，材料表(biao)面等方面有著多種解決(jue)方案。

Features & Benefits（性能及優勢）：

• 高分辨無損(sun)傷光(guang)學3D測量                               自動傾(qing)斜補(bu)償

• 實時共焦成像                                                 簡單的數據分析模式

• 多種光學變焦                                                 雙Z掃描

  大范圍拼接                                                    半透明基材(cai)的特征檢(jian)測

• 實時CCD明場和共聚焦成像                            無樣品準(zhun)備

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Software (軟件）：

Application field（應用(yong)領域）：

NS-3500是測量低維(wei)材料的有前途的解決(jue)方案。

可(ke)測量微米和(he)亞(ya)微米結(jie)構的高度，寬度，角度，面積(ji)和(he)體(ti)積(ji)，例如(ru)

-半導體:IC圖形(xing)，凹凸高(gao)度(du)，線圈(quan)高(gao)度(du)，缺陷檢測，CMP工藝

- FPD產(chan)品:觸摸屏屏幕檢測，ITO圖案，LCD柱間距高度

- MEMS器件:結(jie)構(gou)三(san)維輪廓，表面粗糙度(du)，MEMS圖形

-玻璃表面:薄膜太(tai)陽(yang)能電(dian)池，太(tai)陽(yang)能電(dian)池紋理，激光圖案

-材料研(yan)究:模(mo)具表(biao)面檢測，粗(cu)糙(cao)度，裂紋分析

Specifications（規格）：